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位移傳感器的應(yīng)用范圍廣泛,除了測(cè)量位移外,經(jīng)過(guò)機(jī)械或力學(xué)原理的結(jié)構(gòu)或聯(lián)結(jié)還可以用它制作壓力、速度、加速度、流量、液位的等傳感器。例如電容式加速度傳感器,即在位移傳感元件的機(jī)械結(jié)構(gòu)上加上一質(zhì)量為M的重塊和彈簧組成的系統(tǒng),應(yīng)用F = Ma公式,使位移傳感元件的輸出電壓與重塊運(yùn)動(dòng)的加速度成正比,將傳感元件的位移量轉(zhuǎn)換為加速度量,即可制成加速度傳感器。
在這些機(jī)械測(cè)量的傳感器中,目前結(jié)構(gòu)型的位移傳感器占主要地位。依靠傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化而實(shí)現(xiàn)信號(hào)變換的稱結(jié)構(gòu)型位移傳感器。其中電阻應(yīng)變式(包括壓力)應(yīng)用最廣泛,產(chǎn)品的產(chǎn)量最大。其次是差動(dòng)電感和差動(dòng)變壓器式位移傳感器,它的線性好、量程大、分辨力高,國(guó)內(nèi)已有定型產(chǎn)品。差動(dòng)變壓器式除了應(yīng)用集成電路技術(shù),制成DC/DC(直流/直流)位移傳感器外,目前國(guó)內(nèi)已研制成高載頻(200KHz)的產(chǎn)品,它具有某些顯著特點(diǎn),頗有發(fā)展前途。電渦流式位移傳感器由于它能進(jìn)行非接觸式測(cè)量,適用于測(cè)量振動(dòng)、位移,且耐油、污,因此應(yīng)用比較廣泛。電容式傳感器由于它分辨力高、量程寬、能進(jìn)行非接觸或厚度測(cè)量,應(yīng)用也比較廣泛。在機(jī)床加工或自動(dòng)控制上,用光柵、感應(yīng)同步器、磁柵等位移傳感器,它們的量程大、分辨力高。但因它們使用安裝條件要求較高,適用與機(jī)床的工件尺寸的加工。光電式位移傳感器的精度高、可靠,能進(jìn)行非接觸測(cè)量,能測(cè)量位移、小孔、狹縫及細(xì)絲的直徑,可用于瞄準(zhǔn),可制成機(jī)器人的“眼睛”,隨著光敏器件性能的提高,是有發(fā)展前途的。光纖式位移傳感器由于它的體積小,抗干擾、靈敏度高,也是很有發(fā)展前途的。但由于它存在著某些技術(shù)問(wèn)題,還需繼續(xù)研究解決。霍爾效應(yīng)式位移傳感器雖易受溫度影響,但隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,其性能將會(huì)進(jìn)一步提高。噴射式位移傳感器由于它是噴射氣體,沒(méi)有電的元件,適用于易燃易爆環(huán)境,避免爆炸然繞,有它獨(dú)自的特點(diǎn)。但非線性大,需要改進(jìn)。
在這些機(jī)械測(cè)量的傳感器中,目前結(jié)構(gòu)型的位移傳感器占主要地位。依靠傳感器結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化而實(shí)現(xiàn)信號(hào)變換的稱結(jié)構(gòu)型位移傳感器。其中電阻應(yīng)變式(包括壓力)應(yīng)用最廣泛,產(chǎn)品的產(chǎn)量最大。其次是差動(dòng)電感和差動(dòng)變壓器式位移傳感器,它的線性好、量程大、分辨力高,國(guó)內(nèi)已有定型產(chǎn)品。差動(dòng)變壓器式除了應(yīng)用集成電路技術(shù),制成DC/DC(直流/直流)位移傳感器外,目前國(guó)內(nèi)已研制成高載頻(200KHz)的產(chǎn)品,它具有某些顯著特點(diǎn),頗有發(fā)展前途。電渦流式位移傳感器由于它能進(jìn)行非接觸式測(cè)量,適用于測(cè)量振動(dòng)、位移,且耐油、污,因此應(yīng)用比較廣泛。電容式傳感器由于它分辨力高、量程寬、能進(jìn)行非接觸或厚度測(cè)量,應(yīng)用也比較廣泛。在機(jī)床加工或自動(dòng)控制上,用光柵、感應(yīng)同步器、磁柵等位移傳感器,它們的量程大、分辨力高。但因它們使用安裝條件要求較高,適用與機(jī)床的工件尺寸的加工。光電式位移傳感器的精度高、可靠,能進(jìn)行非接觸測(cè)量,能測(cè)量位移、小孔、狹縫及細(xì)絲的直徑,可用于瞄準(zhǔn),可制成機(jī)器人的“眼睛”,隨著光敏器件性能的提高,是有發(fā)展前途的。光纖式位移傳感器由于它的體積小,抗干擾、靈敏度高,也是很有發(fā)展前途的。但由于它存在著某些技術(shù)問(wèn)題,還需繼續(xù)研究解決。霍爾效應(yīng)式位移傳感器雖易受溫度影響,但隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,其性能將會(huì)進(jìn)一步提高。噴射式位移傳感器由于它是噴射氣體,沒(méi)有電的元件,適用于易燃易爆環(huán)境,避免爆炸然繞,有它獨(dú)自的特點(diǎn)。但非線性大,需要改進(jìn)。
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